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綠碳化硅微粉用于壓電陶瓷拋光

發(fā)布時(shí)間：2022-03-24 09:20:10 瀏覽次數(shù)：次

綠碳化硅微粉用于壓電陶瓷拋光

       綠碳化硅微粉是一種硬度高、機(jī)械強(qiáng)度高、磨削力強(qiáng)的非金屬磨料。對(duì)于壓電陶瓷材料的研磨具有很大優(yōu)勢。
 
       壓電陶瓷是將機(jī)械能和電能互相轉(zhuǎn)換的功能陶瓷材料，廣泛應(yīng)用于光學(xué)、半導(dǎo)體、儀器儀表等領(lǐng)域。但是壓電陶瓷具有脆性、易發(fā)生變形斷裂、難以加工。在壓電陶瓷的后道表面處理階段，采用雙面拋光研磨拋光機(jī)進(jìn)行壓電陶瓷晶片的研磨拋光。一般先用綠碳化硅W50，綠碳化硅W40，綠碳化硅W20,綠碳化硅W14等粒徑的微粉對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行分級(jí)打毛，研磨等表面處理。打毛完成后，晶片表面均勻，無劃痕，粗糙度可以達(dá)到1.2-1.5um。在進(jìn)行精細(xì)拋光精磨階段，選用白剛玉W14，白剛玉W7,白剛玉W5微粉進(jìn)行細(xì)磨，拋光后產(chǎn)品粗糙度在50nm以下。
 
       要想達(dá)到拋光無劃痕的研磨效果，需要對(duì)綠碳化硅磨料的粒度進(jìn)行嚴(yán)格控制，即顆粒的大小盡量一致，顆粒粒度范圍窄。 如果有較大的顆粒，容易對(duì)陶瓷表面造成傷害，如果細(xì)粒多，會(huì)降低研磨的效率。 因此，經(jīng)過水洗溢流分級(jí)的綠碳化硅微粉才是合適的磨料。
綠碳化硅微粉用于壓電陶瓷拋光

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